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半導(dǎo)體潔凈間要求與設(shè)計(jì)

日期：2023-09-20 14:55 瀏覽次數(shù)：

一、半導(dǎo)體潔凈間的要求標(biāo)準(zhǔn)

1.空氣潔凈度等級(jí)：半導(dǎo)體潔凈間對(duì)空氣的潔凈度要求非常高。一般來(lái)說(shuō)，晶圓光刻、制造、測(cè)試等級(jí)為100級(jí)或1000級(jí)的潔凈間，百級(jí)潔凈間要求空氣中0.5微米的塵埃粒子數(shù)不得超過(guò)每立方米3520個(gè)；等級(jí)為1000級(jí)的潔凈間要求0.5微米的塵埃粒子數(shù)不得超過(guò)每立方米35200個(gè)。晶圓切割或封裝工序一般需要等級(jí)為萬(wàn)級(jí)或十萬(wàn)級(jí)的潔凈間，萬(wàn)級(jí)潔凈間要求空氣中0.5微米的塵埃粒子數(shù)不得超過(guò)每立方米352000個(gè)。十萬(wàn)級(jí)潔凈間要求空氣中0.5微米的塵埃粒子數(shù)不得超過(guò)每立方米3520000個(gè)。

 

 

2. 溫度與濕度：半導(dǎo)體潔凈間需要維持一定的溫度和濕度。一般來(lái)說(shuō)，100級(jí)潔凈間內(nèi)的溫度應(yīng)控制在22℃-26℃之間，相對(duì)濕度則應(yīng)控制在45%RH-60%RH之間。更高的等級(jí)對(duì)溫度和濕度控制的要求也更加嚴(yán)格。
3. 壓差：不同級(jí)別的潔凈間需要保持一定的壓差。100級(jí)潔凈間需要維持相對(duì)正壓，壓力差一般為1-1.5Pa。
4. 光照和通風(fēng)：半導(dǎo)體潔凈間需要有良好的通風(fēng)和光照條件。一般來(lái)說(shuō)，100級(jí)潔凈間需要配備垂直或水平送風(fēng)系統(tǒng)，以及高效過(guò)濾器進(jìn)行空氣過(guò)濾。同時(shí)，需要保證足夠的自然光或人工光源。

二、半導(dǎo)體潔凈間的設(shè)計(jì)

為了滿(mǎn)足上述要求標(biāo)準(zhǔn)，半導(dǎo)體潔凈間的設(shè)計(jì)必須精確細(xì)致。一般來(lái)說(shuō)，設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)考慮以下因素：

1. 布局：潔凈間應(yīng)按照生產(chǎn)流程進(jìn)行合理布局。生產(chǎn)區(qū)域、輔助區(qū)域和生活區(qū)域應(yīng)分開(kāi)，并保持一定的距離。生產(chǎn)區(qū)域中，不同的工序應(yīng)分開(kāi)進(jìn)行，以避免交叉污染。
2. 空氣過(guò)濾系統(tǒng)：為了保證空氣的潔凈度，需要設(shè)置空氣過(guò)濾系統(tǒng)。過(guò)濾系統(tǒng)應(yīng)包括初效過(guò)濾器、中效過(guò)濾器、高效過(guò)濾器等部分，以確保進(jìn)入潔凈間的空氣經(jīng)過(guò)多級(jí)過(guò)濾處理。
3. 壓差控制系統(tǒng)：為了維持不同級(jí)別的潔凈間的壓力平衡，需要設(shè)置壓差控制系統(tǒng)。該系統(tǒng)應(yīng)能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)壓力差的變化，并及時(shí)進(jìn)行調(diào)整。
4. 照明和通風(fēng)系統(tǒng)：照明和通風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)與空氣過(guò)濾系統(tǒng)一起設(shè)計(jì)，以保證潔凈間的良好環(huán)境。通風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)采用高效送風(fēng)系統(tǒng)，以保持適當(dāng)?shù)目諝饬鲃?dòng)。同時(shí)，應(yīng)配備足夠的光源，以保證生產(chǎn)區(qū)域的照度。

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