全國(guó)服務(wù)熱線

各類(lèi)電子產(chǎn)品對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度要求（一）

日期：2023-10-24 16:10 瀏覽次數(shù)：

電子產(chǎn)品的種類(lèi)繁多，隨著微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠電子產(chǎn)品的品種不斷增加，以集成電路芯片生產(chǎn)的潔凈室為代表的微電子產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈廠房，對(duì)潔凈生產(chǎn)環(huán)境提出了嚴(yán)格的要求。集成電路產(chǎn)品的更新、發(fā)展主要取決于集成度的提高，即特征尺寸的縮小。芯片特征尺寸已從 21世紀(jì)初的 0.1微米 左右，發(fā)展縮小到現(xiàn)今的7~10納米，隨著特征尺寸的縮小，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境潔凈室潔凈度的控制要求更加嚴(yán)格。

 

 

導(dǎo)致芯片缺陷的因素十分復(fù)雜，其污染源可能來(lái)自空氣中的粒子、硅片自身的雜質(zhì)、芯片加工過(guò)程中使用的化學(xué)試劑、高純氣體中的雜質(zhì)、清洗用純水中的雜質(zhì)、工器具等帶來(lái)的雜質(zhì)污染等。在潔凈室環(huán)境中進(jìn)行全過(guò)程生產(chǎn)或部分生產(chǎn)的電子產(chǎn)品主要有: 各種半導(dǎo)體材料及其器件集成電路、化合物半導(dǎo)體、光電子、薄膜晶體管液晶顯示器、微硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器、等離子顯示器、磁頭和磁帶、光導(dǎo)纖維、印制電路板、光伏電池等。

各類(lèi)產(chǎn)品的品種不同、生產(chǎn)工藝不同，所要求的潔凈室空氣潔凈度等級(jí)也不相同。因此在規(guī)定各種電子產(chǎn)品用潔凈廠房設(shè)計(jì)時(shí)，生產(chǎn)環(huán)境的潔凈室空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定?？蓞⒄毡疚膶?duì)于空氣潔凈度等級(jí)、控制粒徑均列出一定的范圍供參考。

一、半導(dǎo)體材料

產(chǎn)品、工序	潔凈度等級(jí)（ISO）	控制粒徑（微米）
拉單晶	6~8	0.5
切、磨、拋	5~7	0.3~0.5
清洗	4~6	0.3~0.5
外延	4~6	0.3~0.5

        
二、芯片制造

產(chǎn)品、工序	潔凈度等級(jí)（ISO）	控制粒徑（微米）
氧化、擴(kuò)散、清洗、刻蝕、薄膜、離子注人、CMP	2~5	0.1~0.5
光刻	1~5	0.1~0.3
檢測(cè)	3~6	0.2~0.5
設(shè)備區(qū)	6~8	0.3~0.5

未完待續(xù)。

更多關(guān)于潔凈室的資料請(qǐng)查看
http://m.hiuyghur.cn/chanpinzhongxin/zuzhuangshijiejingshi/70.html#point
歡迎來(lái)電，提供一對(duì)一免費(fèi)咨詢(xún)：400 612 0512
本文屬于德信致遠(yuǎn)原創(chuàng)文章，轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明地址：m.hiuyghur.cn

上一篇：可移動(dòng)式潔凈棚的主要特點(diǎn)
下一篇：各類(lèi)電子產(chǎn)品對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度要求（二）

新聞推薦

• [2026-02-27]. 做核方向的實(shí)驗(yàn)潔凈間要滿(mǎn)足什么要求？
• [2026-02-26]. 膠水生產(chǎn)對(duì)無(wú)塵車(chē)間的要求
• [2026-01-30]. 遙控器組裝凈化車(chē)間的要求
• [2026-01-29]. 生產(chǎn)汽車(chē)玻璃的凈化車(chē)間的標(biāo)準(zhǔn)
• [2026-01-29]. 內(nèi)存條生產(chǎn)凈化車(chē)間的要求
• [2026-01-22]. 組培凈化車(chē)間的要求
• [2026-01-16]. 為什么無(wú)塵車(chē)間的地面常用PVC、環(huán)氧自流平、高架地板？
• [2026-01-15]. 無(wú)塵車(chē)間是如何做到無(wú)塵的？
• [2026-01-09]. 做激光晶體的潔凈室需要滿(mǎn)足哪些要求？
• [2026-01-08]. 生產(chǎn)碳硅新材料的潔凈室有什么要求？
• [2025-12-31]. 你知道無(wú)塵車(chē)間什么時(shí)候需要配泄壓閥嗎？
• [2025-12-26]. 制作面膜的無(wú)塵車(chē)間需要滿(mǎn)足哪些要求？