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技術(shù)特點(diǎn)

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無(wú)塵室的標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)有哪些

德信致遠(yuǎn)小編今天帶大家梳理一下目前無(wú)塵室的標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)。

1.亂流式:
空氣從空調(diào)箱通過(guò)管道和清潔現(xiàn)場(chǎng)內(nèi)的空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入無(wú)塵室，從清潔現(xiàn)場(chǎng)兩側(cè)的隔板和高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)呈不規(guī)則亂流或渦流狀態(tài)。該型號(hào)適用于無(wú)塵室等級(jí)為1，000-100，000級(jí)。
優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，系統(tǒng)建設(shè)成本低，容易擴(kuò)展無(wú)塵室，可在特殊用途場(chǎng)所使用潔凈臺(tái)，提高潔凈室等級(jí)。
缺點(diǎn):混亂引起的微塵粒子在室內(nèi)空間浮起難以排出，容易污染產(chǎn)品。此外，如果系統(tǒng)停止運(yùn)行并再次激活，達(dá)到要求的清潔度需要相當(dāng)長(zhǎng)的時(shí)間。
2.層流式:
層流式空氣流動(dòng)均勻直線形，空氣通過(guò)復(fù)蓋率100%的過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，通過(guò)高架地板和兩側(cè)的隔板回風(fēng)，該型號(hào)適用于無(wú)塵室等級(jí)需求高的環(huán)境使用，一般無(wú)塵室等級(jí)為Class1~100。
其類(lèi)型可分為兩種類(lèi)型:
無(wú)塵室水平流動(dòng)式:水平空氣從過(guò)濾器單方向吹出，從對(duì)面墻壁的回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，灰塵隨風(fēng)向室外排出，一般下流側(cè)污染嚴(yán)重。
優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，運(yùn)行后短時(shí)間內(nèi)穩(wěn)定。
缺點(diǎn):建設(shè)費(fèi)用高于亂流式，室內(nèi)空間難以擴(kuò)大。
毛塵現(xiàn)場(chǎng)垂直層流式:房間天花板完全用ULPA過(guò)濾器復(fù)蓋，空氣從上向下吹，可獲得較高的清潔度，生產(chǎn)中或員工產(chǎn)生的灰塵迅速排出室外，不影響其他工作區(qū)域。
優(yōu)點(diǎn):管理簡(jiǎn)單，運(yùn)行短時(shí)間內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)，不易受到作業(yè)狀態(tài)和作業(yè)人員的影響。
缺點(diǎn):結(jié)構(gòu)費(fèi)用高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板吊架相當(dāng)占空間，維護(hù)更換過(guò)濾器很麻煩。
3.復(fù)合式::
復(fù)合式復(fù)合亂流式和層流式，可提供局部超清潔空氣。
清潔現(xiàn)場(chǎng)的清潔隧道:用HEPA或ULPA過(guò)濾器復(fù)蓋生產(chǎn)區(qū)域或工作區(qū)域的100%，將清潔度等級(jí)提高到10級(jí)以上，可以節(jié)約設(shè)置運(yùn)行費(fèi)用。這種類(lèi)型需要隔離操作員的工作區(qū)域和產(chǎn)品和機(jī)械維護(hù)，以免機(jī)械維護(hù)影響工作和質(zhì)量。大多數(shù)超大型集成電路生產(chǎn)都采用這種類(lèi)型。
清潔隧道還有兩個(gè)優(yōu)點(diǎn):彈性擴(kuò)展簡(jiǎn)單，維護(hù)設(shè)備時(shí)可在維護(hù)區(qū)輕松執(zhí)行。
潔凈現(xiàn)場(chǎng)的清潔配管:包圍產(chǎn)品流程的自動(dòng)生產(chǎn)線進(jìn)行凈化處理，將清潔度等級(jí)提高到100級(jí)以上。由于產(chǎn)品和工作人員和灰塵環(huán)境相互隔離，少量送風(fēng)可以得到良好的清潔度，節(jié)約能源，適合不需要人工自動(dòng)化生產(chǎn)線。藥品、食品和半導(dǎo)體都適用。
無(wú)塵車(chē)間并裝局部無(wú)塵室:將潔凈室內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)潔凈度等級(jí)提高到10~1000級(jí)以上，用于生產(chǎn)。

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