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    電子工業(yè)超凈間設(shè)計及裝修一般有哪些方案


    超凈間的應(yīng)用領(lǐng)域,半導(dǎo)體行業(yè)算是工業(yè)超凈間大佬級別的存在了。超凈間在半導(dǎo)體行業(yè)的建設(shè)目的是為了以無生命微粒的控制為對象,控制超凈間內(nèi)空氣塵埃微粒對工作對象的污染,使超凈間內(nèi)部保持正壓狀態(tài),良好地控制出品環(huán)境。
     電子工業(yè)超凈間設(shè)計及裝修一般有哪些方案
    半導(dǎo)體超凈間的建設(shè)專業(yè)度高且程序復(fù)雜,要打造滿足標準且適合工藝流程的超凈間包含多種專業(yè)維度的建設(shè)內(nèi)容。比如說:
     
    建筑構(gòu)造、內(nèi)部平面、工藝布置、裝飾裝修、人員和物料凈化、暖通系統(tǒng)建設(shè)、自控系統(tǒng)建設(shè)、通排風(fēng)系統(tǒng)建設(shè)、氣體供應(yīng)系統(tǒng)建設(shè)、管網(wǎng)建設(shè)等。這些內(nèi)容每一個維度都關(guān)系著該車間目標控制標準的達成。
     
    因為電子工業(yè)超凈間建設(shè)環(huán)節(jié)較為復(fù)雜,德信致遠先摘出在半導(dǎo)體超凈間建設(shè)環(huán)節(jié)中,暖通系統(tǒng)和氣體供應(yīng)系統(tǒng)的建設(shè)相關(guān)內(nèi)容加以概述。
     
    半導(dǎo)體超凈間暖通系統(tǒng)設(shè)計要點:
     
    1.半導(dǎo)體超凈間多以萬級(局部百級)為設(shè)計目的。要達到這樣的標準,就需要選擇高效或亞高效過濾器(潔凈級別低時)作為終端過濾器,對進入無塵車間的空氣,進行一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命,需要使空氣先經(jīng)中效過濾器進行過濾。
     
    2.除了考慮潔凈的空氣送風(fēng)外,還要考慮合理的氣流分布流型。譬如在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū)就一個盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區(qū);氣流的流動有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風(fēng)口排走。
     
    3.要根據(jù)無塵車間的規(guī)格大小來選擇合適的送風(fēng)設(shè)備,達到足夠的送風(fēng)量,以達到可以稀釋空氣的含塵濃度,又能保證有穩(wěn)定氣流流型的目的。
     
    半導(dǎo)體超凈間供氣系統(tǒng)設(shè)計要點:
     
    在工藝技術(shù)較為先進的半導(dǎo)體晶圓工廠的制造過程中,工藝步驟達幾百道,前后要使用幾十種不同種類的氣體。
     
    在半導(dǎo)體、集成電路這類電子工業(yè)超凈間建設(shè)過程中,因為工藝復(fù)雜對環(huán)境要求高。要在一定空間內(nèi)清除空氣中的顆粒物、有害空氣、細菌等污染物,控制室內(nèi)溫度、清潔度、室內(nèi)壓力、氣流速度和氣流分布,將噪聲振動和照明、靜電控制在一定需求范圍內(nèi),需要平面設(shè)計師和各技術(shù)段工程師非常精密的計算與合作。
     


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