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量子計算機超凈間是保障量子比特穩(wěn)定運行、實現高精度量子計算的核心環(huán)境,其要求極為嚴苛,需從環(huán)境潔凈度、溫濕度控制、電磁屏蔽與振動及人員操作規(guī)范等多維度構建封閉潔凈空間,具體要求如下:
一是環(huán)境潔凈度。量子計算機超凈間為防止灰塵造成光路散射或光學元件損壞等,核心光路組裝區(qū)需達到 ISO 5級(百級) 甚至更高標準,要求每立方米空氣中≥0.5微米的微粒數不超過3520個。再如中國首個光量子工廠就設有萬級(ISO 7級)潔凈生產區(qū),被稱作光量子計算機的“無塵手術室”。

二是環(huán)境穩(wěn)定性也就是保持量子計算機超凈間的恒溫恒濕狀態(tài)以及穩(wěn)定的壓差。溫度或濕度的細微波動,都可能導致光學元件熱脹冷縮或光路偏移。穩(wěn)定的溫濕度可以防止芯片表面水分子吸附影響量子比特相干時間,也能防止鏡片結露或者靜電積累。同時,量子計算機超凈間需維持5-10Pa的正壓差,防止外部污染空氣滲入,并通過壓差傳感器實時監(jiān)測相鄰區(qū)域壓力梯度。
三是極致抗干擾也就是超凈間關于振動與電磁屏蔽方面的防護。這是量子超凈間區(qū)別于普通超凈間的最大難點。振動方面,常采用獨立地基、防振基座等設計,以隔絕人員走動或交通引起的微擾。設備與建筑結構隔離,禁電梯、泵等強振源。而對于電磁屏蔽方面,可采用全室銅/鋁屏蔽網,避免射頻干擾和工頻磁場影響量子態(tài)操控。
四是人員操作規(guī)范。為了實現以上指標,量子計算機超凈間需進行嚴格管理。建立人員凈化、行為規(guī)范等多重保障體系,如人員進入超凈間需穿防靜電無塵服,佩戴防靜電手腕帶,經風淋、靜電檢測(≤100V);嚴格進出管控,減少人員擾動。操作臺上鋪設防靜電橡膠墊;使用防靜電鑷子取放芯片,避免接觸芯片中心量子比特陣列區(qū)域,操作全程通過光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡實時監(jiān)控等。
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